紅外光源以產(chǎn)生紅外輻射為主要目的的非照明用電光源，常用于加熱、理療、夜視、通訊、導(dǎo)航和植物栽培等。MEMS即微機(jī)電系統(tǒng)，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置，是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)。MEMS紅外光源廣泛應(yīng)用于光通信、數(shù)字圖像處理等，極大的提高了人們的生活質(zhì)量。

一、MEMS紅外光源的特點(diǎn)

1、微型化。MEMS紅外光源耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時(shí)間短。

2、批量生產(chǎn)。用硅微加工工藝在一片硅片上可同時(shí)制造成百上千個(gè)微型機(jī)電裝置或完整的MEMS，批量生產(chǎn)可大大降低生產(chǎn)成本。

3、可以把不同功能、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執(zhí)行器集成于一體，或形成微傳感器陣列、微執(zhí)行器陣列，甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復(fù)雜的微系統(tǒng)。微傳感器、微執(zhí)行器和微電子器件的集成可制造出可靠性、穩(wěn)定性很高的MEMS。

二、MEMS紅外光源相對(duì)比于傳統(tǒng)光源有哪些優(yōu)勢(shì)

1、針對(duì)傳統(tǒng)光源加熱與冷卻的物理?xiàng)l件并沒(méi)有很好的定義的問(wèn)題，利用輻射自冷卻的紅外光源研究應(yīng)運(yùn)而生，與傳導(dǎo)散熱相比，輻射散熱不需要通過(guò)介質(zhì)實(shí)現(xiàn)，因此具有瞬間相應(yīng)的優(yōu)點(diǎn)。

2、與傳統(tǒng)光源相比，采用熱激發(fā)電調(diào)制的方式，省去了傳感體系中的斬波器，在成本、體積、電源功率以及電路復(fù)雜性上都有了很大的改進(jìn)。

3、紅外光源與MEMS工藝兼容，且適合大批量生產(chǎn)，具有成本低廉，性能一致的優(yōu)點(diǎn)。

以上便是小編為大家介紹的關(guān)于MEMS紅外光源的知識(shí)，希望對(duì)大家有所幫助，中國(guó)在MEMS紅外光源的研究起步比較晚，以及申請(qǐng)專利或者產(chǎn)業(yè)化的微型調(diào)制光源不多，大多數(shù)研究都處于實(shí)驗(yàn)室研究階段，至于器件的最終商品還需要做大量工作，讓我們一起期待MEMS紅外光源的進(jìn)一步發(fā)展。